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Chemikalien-Versorgungssysteme
Die stetig steigenden Integrationsdichten von Halbleitern mit Strukturbreiten bis hin zum sub-µm-Bereich stellen immer höhere Anforderungen an die Reinheit der Prozesschemikalien und an deren Handhabung.
Die STANGL Ver- und Entsorgungssysteme garantieren eine sichere Chemikalienver- und -entsorgung der Prozessanlagen mit Säuren, Laugen und Lösemittel. Die Anlagen sind so konzipiert, dass die Sekundärkontamination auf ein Minimum reduziert und die Qualität stets konstant gehalten wird. Damit ist eine störungsfreie Produktion mit hoher Ausbeute gewährleistet. |
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